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分光干涉式晶圓膜厚儀 SF-3

簡要描述:●非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測
●采用分光干涉法實(shí)現(xiàn)高度檢測再現(xiàn)性
●可進(jìn)行高速的即時(shí)研磨檢測
●可穿越保護(hù)膜、觀景窗等中間層的檢測
●可對應(yīng)長工作距離、且容易安裝于產(chǎn)線或者設(shè)備中
●體積小、省空間、設(shè)備安裝簡易
●可對應(yīng)線上檢測的外部信號(hào)觸發(fā)需求
●采用最適shi合膜厚檢測的獨(dú)自解析演算法。(已取得專zhuan利)
●可自動(dòng)進(jìn)行膜厚分布制圖(選配項(xiàng)目)

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-12-19
  • 訪  問  量:245

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詳細(xì)介紹

品牌OTSUKA/日本大塚

即時(shí)檢測

WAFER基板于研磨制程中的膜厚

玻璃基板(強(qiáng)酸環(huán)境中)于減薄制程中的厚度變化

規(guī)格式樣


                    SF-3
膜厚測量范圍                    0.1 μm ~ 1600 μm※1
膜厚精度                    ±0.1% 以下
重復(fù)精度                    0.001% 以下
測量時(shí)間                    10msec 以下
測量光源                    半導(dǎo)體光源
測量口徑                    Φ27μm※2
WD                    3 mm ~ 200 mm
測量時(shí)間                    10msec 以下

※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同
※2 最小Φ6μm







上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機(jī)械和光學(xué)平臺(tái)、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級(jí)相機(jī)、Semilab 半導(dǎo)體測試設(shè)備及高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展,上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽(yù)度,客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力,不斷提升市場地位和影響力。

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