產(chǎn)品中心
當前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 光譜系統(tǒng) > 顯微缺陷膜厚
產(chǎn)品中心
●具有高靈敏度檢測器的寬測量范圍 ●具有紫外線自吸收校正的高精度測量 ●配備溫度控制單元，可從-110°C進行溫度控制 ●涵蓋從紫外線到可見光的波長范圍 ●電源、溫控單元、測量儀軟件批量控制
采用了偏光光學系和多通道分光檢出器 有可對應各種尺寸的裝置，從1mm大小的光學素子到第10代的大型基板 安全對策和粒子對策，可對應液晶line內(nèi)的檢查設備
采用了偏光光學系和多通道分光檢出器 有可對應各種尺寸的裝置，從1mm大小的光學素子到第10代的大型基板 安全對策和粒子對策，可對應液晶line內(nèi)的檢查設備
●可在紫外和可見（250至800nm）波長區(qū)域中測量橢圓參數(shù) ●可分析納米級多層薄膜的厚度 ●可以通過超過400ch的多通道光譜快速測量Ellipso光譜 ●通過可變反射角測量，可詳細分析薄膜 ●通過創(chuàng)建光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫和追加菜單注冊功能，增強操作便利性 ●通過層膜貼合分析的光學常數(shù)測量可控制膜厚度/膜質(zhì)量
●可處理高達2400mm的直管光學總光通量測量 ●測量系統(tǒng)符合IESNA的LM-79和LM-80標準 ●采用新的探測器，可以進行廣動態(tài)范圍的測量 ●測量部分的尺寸（積分球或積分半球）從φ250毫米到φ3000毫米都能對應 ●支持LIV測量，脈沖點測量，樣品溫度測量 ●兼容脈沖寬度調(diào)制（PWM）調(diào)光
以透過光譜測量、色測量為代表，通過濃度測量、膜厚測量、反射光譜測量等，可對應彩色濾光片制造工程中的所有檢查的裝置
在線留言