產(chǎn)品中心
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●可測量稀薄溶液~濃厚溶液的ZETA電位和粒徑，并可進行分子量測量的檢測裝置。 ●適用于粒徑測量范圍（0.6nm~10um）,濃度范圍（0.00001%~40%）。
利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點，在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測量等膜厚信息。
●Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成 ●實現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊 ●支持半導體工藝的高吞吐量要求 ●支持槽口對齊功能 ●小尺寸規(guī)格 ●高精度自動校準單元
半導體晶圓缺陷檢測儀利用亮場和暗場顯微成像技術(shù)，通過自動化的圖像捕捉以及人工智能分析工具，為晶圓表面缺陷的檢測提供了快速且高效的解決方案。
ZETA電位 · 粒徑 · 分子量測試系統(tǒng)可測量濃度低的溶液～濃度高的溶液的ZETA電位?粒徑及分子量。
光電流測試是一種用于測量器件或材料的光電性能的測試方法，主要應用于半導體器件、光電器件、太陽能電池等領(lǐng)域。
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